课程介绍

COURSE DESCRIPTION

MEMS加工工艺NO.96000113

任课老师:王晓浩

  • 课程分类:研究生专业课
  • 中心:中心二
课程详情

本课程的目的是通过课堂授课结合实验操作介绍制作MEMS器件所需的各种加工工艺。课程将会首先介绍MEMS器件中常用材料的机械和电学性能。然后将讨论通过MEMSCMOS工艺相结合实现微纳传感器和执行器所需的微加工工艺,包括体硅工艺和表面加工工艺。本课程介绍的具体加工工艺包括:光刻、RIE/DRIE、湿法刻蚀、牺牲层腐蚀、蒸发、溅射、CVDUV-LIGA和阳极键合工艺。另外,还将讨论部分纳米加工工艺,如纳米压印、聚焦离子束加工、自组装等。本课程包括一个实验项目,即根据所学微加工工艺设计工艺流程,并操作完成硅悬臂梁的制作。